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高温匣钵在半导体中的应用

点击次数:   更新时间:22/04/22 17:19:04     来源:www.zpgzsjz.com
  高温匣钵,从它的名字中我们不难发现,这种产品的耐高温性能还是比较强的,应用也是很广的,它在半导体中的应用同样也是很多,下面来具体介绍一下:
  1、高温匣钵是重要的半导体辅材,广泛应用于半导体加工,纯石英材料由于其耐温,耐酸,低膨胀和良好的管够透过性的特殊物理性能,满足了半导体工业对载具材料中碱金属和重金属含量的苛刻要求,成为该领域中不可缺少的材料。
  2、材料贯穿了半导体领域相关产品制造的关键过程:高温匣钵用于提炼、清洗容器以及制作晶圆IC载体;石英锭、石英筒是半导体制造扩散、氧化、沉积、蚀刻工艺中所用的法兰、扩散管、石英钟罩的材料;合成石英锭是平板显示技术中关键部件光掩膜基板的主要基材。
  之所以高温匣钵能够在半导体中的应用广泛,主要还是因为它的耐热性,耐腐蚀性等一些性能,在半导体中,是符合半导体行业的应用要求的。
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